半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用EDI超純水設(shè)備
- 來源:
- 君浩環(huán)保集團(tuán)
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- 發(fā)布日期:
- 2023-06-01
中星顯示材料成立于2017年6月,由中國與新加坡自然人合作投資的中外合資企業(yè),注冊資本1億元,主要從事液晶顯示材料、OLED電致發(fā)光材料,產(chǎn)品最終應(yīng)用于TFT-LCD、PDLC、OLED等新型顯示和創(chuàng)新原料生產(chǎn)領(lǐng)域。在芯片制造中工件與水會有直接接觸,芯片在加工過程中的微量玷污需要洗凈,所以超純水的品質(zhì)需要有保障,不然一旦清洗用水中含有雜質(zhì),就會產(chǎn)生水垢,影響芯片的成品率,所以需要高純度的超純水方可清洗干凈。
項目名稱:半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)用EDI超純水設(shè)備
項目地點:寧東
項目性質(zhì):超純水系統(tǒng)工程
工程周期:20天
工程狀態(tài):已完結(jié)
3.需求分析
制造芯片的原材料是提供多次才得到的高純度硅,將其切割成6寸、12寸、18寸等不同的晶圓,需要上百道步驟才可成為芯片,在此其中無論多少次的切割都需要用符合芯片制造清洗用水要求。
一般來說我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ·cm、15MΩ·cm、10MΩ·cm、2MΩ·cm、0.5MΩ·cm五級標(biāo)準(zhǔn))。
4.解決方案
根據(jù)原水水質(zhì)情況,通過現(xiàn)場勘查,工藝流程如下:

5.設(shè)備價值
隨著近幾年政府對芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的逐漸重視,以及受內(nèi)部和外部因素的影響,國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)呈井噴式增長,由于芯片生產(chǎn)工藝中對水質(zhì)要求極高,EDI超純水設(shè)備系統(tǒng)更是高之又高。
6.結(jié)果呈現(xiàn)


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